特許
J-GLOBAL ID：200903055955961999
薬液調合装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247910
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108054
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】複数個の原液を混合して目的成分を規定の濃度にする薬液調合装置でにおいて、高精度の調合液を安定して短時間で得るようにする。 【構成】混合装置の容量より大きく目的成分の濃度を測定する濃度計と混合手段を備えた後混合装置と、一回分の調合量より大きく規定量の原液を供給及び排出する計測及び制御手段を有する原料中間槽を有する薬液調合装置
請求項（抜粋）：
複数個の原液を混合して目的成分を規定の濃度にする薬液調合装置であって、原液の計量および供給手段と混合手段を有する混合装置、混合溶液の目的成分の濃度を測定する濃度計、目的成分の目標濃度と該成分の測定濃度との差に基づいて原液供給量を決定する演算装置および、該混合装置の容量より大きく、目的成分の濃度を測定する濃度計および液面計と混合手段を備え、混合溶液を混合装置から受入れる後混合装置を有することを特徴とする薬液調合装置
IPC (6件)：
B01F 3/08
, B01F 15/04
, B01J 4/02
, G03F 7/30 501
, G05D 21/00
, H01L 21/027
