特許

J-GLOBAL ID：200903055965347407

塗布装置及びスピンコート用ディスペンサ

発明者： 沢野 充 ,  眞田 和男
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-135467
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 短時間で膜厚精度の高い均一な塗布を可能とする。【解決手段】 スピンコート用の塗布装置1は、CD-R等のディスク基板3の上部に、図示しない支持手段によって支持されたラインジェット型のヘッド4がディスク基板3の中心部から外周部にわたり半径方向に配設された構成のディスペンサを有している。ヘッド4は、液塗出量がディスク基板3の内周部において多く、外周部において少なくなるように、内周部におけるノズル孔の個数分布を多く(あるいは径を大きく)、外周部におけるノズル孔の個数分布を少なく(あるいは径を小さく)形成されている。

請求項（抜粋）：

回転する基材に対してスピンコートによる塗布を行う塗布装置であって、前記基材の半径方向にわたって配設され、少なくとも前記半径方向に列状に複数の液噴出口を有するラインジェット型のヘッドによるディスペンサを備えたことを特徴とする塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 C

Fターム (16件)：

2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025CC11 ,  2H025EA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F041BA56 ,  4F042AA07 ,  4F042EB17 ,  4F042EB19 ,  5F046JA02 ,  5F046JA04