特許
J-GLOBAL ID：200903055980585705
シール装置及び処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352499
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201828
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 部材間に設けられるシール部材をこのシール部材の環境温度の変化に対応してシール性の向上を図ることができるシール装置及び処理装置を提供する。【構成】 部材間の接合部76、78、80に設けられ、この接合部76、78、80のシール部が晒される温度範囲の最高温度以下の変態温度を有する合金材料よりなるシール母材84の表面に高い延性を有するコーティング膜86を施してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
部材間の接合部に設けられ、この接合部のシール部が晒される温度範囲の最高温度以下の変態温度を有する合金材料よりなるシール母材の表面に高い延性を有するコーティング膜を施してなることを特徴とするシール装置。
IPC (2件)：
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