露光装置およびその方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 高橋俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-120873
公開番号（公開出願番号）：特開2006-301170
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】基板の垂れが発生せず基板にしわがよらず、高い品質と生産性のよい帯状基板を製造する。【解決手段】露光装置1は、帯状基板9をその長手方向に沿って間欠的に送りながら、該帯状基板を所定長さ領域ごとに露光する。感光材が付着された露光面を有するフレキシブルな帯状基板9は、送り駆動装置23、25によって、繰り出し用ロール7を有する繰り出し部と、巻き取り用ロール15を有する巻き取り部との間を移動する。前記繰り出し部と前記巻き取り部との間には、垂直経路部が形成されている。前記垂直経路部には露光部が設けられている。露光部は、フォトマスク41、43を有する。フォトマスクに描かれたパターンは、光学系装置45の光源47の光51によって帯状基板の露光面に転写される。前記繰り出し部と前記巻き取り部のうち一方が前記露光部の上方部に、他方が下方部に設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

帯状基板をその長手方向に沿って間欠的に送りながら、該帯状基板を所定長さ領域ごとに露光するための露光装置において、感光材が付着された露光面を少なくとも片面に有する帯状基板が円筒状に巻かれた繰り出し用ロールを有する繰り出し部と、前記帯状基板を円筒状に巻き取るための巻き取り用ロールを有する巻き取り部にして、前記繰り出し部から所定の距離をおいて設けられた巻き取り部と、前記繰り出し部と前記巻き取り部との間に形成された、前記帯状基板が垂直状態になるところの垂直経路部と、前記帯状基板を前記繰り出し部から前記巻き取り部まで間欠的に送るための送り駆動装置と、前記垂直経路部に設けられた露光部にして、前記露光面に近接、または接触可能な少なくとも1つのフォトマスクを有する露光部と、前記フォトマスクに描かれたパターンを前記帯状基板の前記露光面に転写するための光学系装置と、を備え、前記繰り出し部と前記巻き取り部のうち一方が前記露光部の上方部に、他方が下方部に設けられていることを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20

FI (1件)：

G03F7/20 501

Fターム (4件)：

2H097AA01 , 2H097BA10 , 2H097DB12 , 2H097GA45

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板露光方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-347527 出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (9件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-326597 出願人：日本精工株式会社, NSKプレシジョン株式会社
回路板製造用露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-303379 出願人：松下電工株式会社
特開昭61-072216

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