特許

J-GLOBAL ID：200903055983548983

ワークの熱圧着装置

発明者： 鬼塚 安登
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-321246
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163276
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 構造を小型化・簡単化できるワークの熱圧着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 フレーム21の上部突端部に熱圧着ヘッド30を取付け、下部突端部にバックアップ部材33を取付ける。基板1の縁部に受台90に載せられたワーク3のコネクタ6を位置させ、その状態でバックアップ部材33を上昇させて基板1の下面を下方から支え、熱圧着ヘッド30の熱圧着ツール31を下降させてコネクタ6に押し付ける。これにより基板1の縁部とコネクタ6は、熱圧着ツール31とバックアップ部材33で上下からはさみ付けられ、コネクタ6はACF7を介して基板1に熱圧着してボンディングされる。フレーム21を送りねじ26に沿ってX方向へ移動させることにより、基板1の一辺の縁部に沿ってワーク3を次々に熱圧着していく。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持テーブルと、この保持テーブルに保持された基板の縁部に位置決めされたワークを基板に押し付けて熱圧着する熱圧着ヘッドと、基板の縁部を支えて前記熱圧着ヘッドの押し付け力を支えるバックアップ部材とを備え、前記熱圧着ヘッドと前記バックアップ部材を同一フレームの上部と下部に互いに対向させて取付け、かつこのフレームを基板の縁部に沿って移動させる移動手段を設けたことを特徴とするワークの熱圧着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/603 ,  H01L 21/60 311

FI (2件)：

H01L 21/603 C ,  H01L 21/60 311 R