特許
J-GLOBAL ID：200903055984329100
薄板セラミックスとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047588
公開番号（公開出願番号）：特開平9-239658
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 両面ラップ盤が簡単な構造であっても、薄板セラミックスを高精度に作製する。【解決手段】 両面ラップ盤を使用し、研削対象物1の両面を同時に研磨して作製するセラミックスの製造において、研削対象物を保持するキャリヤ2を研削後の最終的な厚さよりも厚くなるように作製し、このキャリアを使用してキャリアおよびセラミックスを同時に所望の厚みまで研削して製造する。研削対象物がキャリアから飛び出すことがなく、厚さ制御も容易となる。
請求項（抜粋）：
両面を同時に研磨して作製されるセラミックスにおいて、研削後の最終的な厚さと同等の厚さとしたキャリアで研削対象物を保持し、この保持状態で所望の厚さまで研削対象物を研削することで作製されていることを特徴とする薄板セラミックス。
FI (2件)：
B24B 37/04 D
, B24B 37/04 C
