特許
J-GLOBAL ID：200903055987958515
レジスト剥離廃液の処理装置、及びこれを備えているレジスト剥離・廃液処理設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123892
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318263
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 レジスト剥離液、水分、フォトレジストを含むレジスト剥離廃液から、レジスト剥離液を連続的に分離蒸留し、各機器を小型化させる。【構成】 レジスト剥離廃液が流入する水分蒸留器32と、水分蒸留器内の廃液から水が蒸発するよう、水分蒸留器内の圧力を低下させる水分蒸留用減圧ポンプ39と、水分蒸留器内の残液が流入する剥離液蒸留器42と、剥離液蒸留器内の残液からレジスト剥離液が蒸発するよう、剥離液蒸留器内の圧力を低下させるレジスト剥離液蒸留用減圧ポンプ49と、剥離液蒸留器から蒸発したレジスト剥離液を回収する再生剥離液回収タンク44とを備えている。レジスト剥離廃液中の水分、レジスト剥離液をそれぞれ分離蒸留する蒸留器を設けたので、レジスト剥離廃液を連続蒸留することができる。
請求項（抜粋）：
水、該水よりも蒸気圧の高く、基板等に付着しているフォトレジストを剥離するレジスト剥離液、該レジスト剥離液により該基板等から剥離されたフォトレジストを含むレジスト剥離廃液から、該レジスト剥離液を分離するレジスト剥離廃液の処理装置において、前記レジスト剥離廃液が流入する廃液流入口が形成され、該廃液流入口から流入した該レジスト剥離廃液を一時的に溜め、その上部にガス排気口が形成され、その下部に残液排出口が形成されている水分蒸留器と、前記水分蒸留器内の前記レジスト剥離廃液から前記水が蒸発するよう、該水分蒸留器内の該レジスト剥離廃液を加熱及び/又は水分蒸留器内の圧力を低下させる水蒸発手段と、前記水分蒸留器の前記残液排出口から該水分蒸留器内の残液が流入する残液流入口が形成され、該残液流入口から流入した該残液を一時的に溜め、その上部にガス排気口が形成され、その下部に最終残液排出口が形成されている剥離液蒸留器と、前記剥離液蒸留器内の前記残液から前記レジスト剥離液が蒸発するよう、該剥離液蒸留器内の該残液を加熱及び/又は該剥離液蒸留器内の圧力を低下させるレジスト剥離液蒸発手段と、前記剥離液蒸留器から蒸発した前記レジスト剥離液を回収する再生剥離液回収タンクと、を備えていることを特徴とするレジスト剥離廃液の処理装置。
IPC (3件)：
C02F 1/04 ZAB
, G03F 7/26
, G03F 7/42
C02F 1/04 ZAB D
, G03F 7/26
, G03F 7/42
