特許

J-GLOBAL ID：200903055995014585

真空処理装置

発明者： 佐藤 和俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-146286
公開番号（公開出願番号）：特開平9-324268
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 ガス量検出器の感度を補正し、安定して不純物ガスの含有量を検出することができる真空処理技術を提供する。【解決手段】 真空排気可能な処理容器と、処理容器内に処理ガスを導入するためのガス導入手段と、処理容器内のガス分圧に対応するガス量信号をガス種別ごとに出力するガス量検出器を有する。ガス量検出器は、外部から与えられる感度補正信号に応じて検出感度が設定され、設定された検出感度でガス量信号を生成し出力する。制御手段が、ガス量検出器から出力されたガス量信号を受信し、処理ガスに含まれるガスから選ばれた1つの基準ガスに対応するガス量信号の大きさが目標値に近づくように、ガス量検出器に対して感度補正信号を送出する。

請求項（抜粋）：

真空排気可能な処理容器と、前記処理容器内に処理ガスを導入するためのガス導入手段と、前記処理容器内のガス分圧に対応するガス量信号をガス種別ごとに出力するガス量検出器であって、外部から与えられる感度補正信号に応じて検出感度が設定され、設定された検出感度でガス量信号を生成し出力する前記ガス量検出器と、前記ガス量検出器から出力されたガス量信号を受信し、前記処理ガスに含まれるガスから選ばれた1つの基準ガスに対応するガス量信号の大きさが目標値に近づくように、前記ガス量検出器に対して感度補正信号を送出する制御手段とを有する真空処理装置。

IPC (5件)：

C23C 14/54 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

C23C 14/54 F ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 D ,  H01L 21/302 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-211377
  
• 特開平1-268859
  
• 特開昭63-034931
  
• 特開昭61-128139
  
• 特表平7-501105