特許

J-GLOBAL ID：200903056015761564

回転圧縮機

発明者： 平野 均 ,  樽井 久樹 ,  蔵本 慶一 ,  堂本 洋一
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 安富 耕二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083959
公開番号（公開出願番号）：特開平11-280648
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 最表面に母材材料と窒素とが結合した窒化物(Fe系材料の場合、Fe2N)が生成されている場合、この母材上に硬質炭素系被膜を形成するに際して、母材と硬質炭素被膜との間の密着性が低下する。【解決手段】 本発明の回転圧縮機は、窒化処理した母材上に硬質炭素系被膜を形成する際に、予め母材上に形成する被膜の構成原子、或いは構成分子のイオンを照射し、該イオンの運動エネルギーを利用して、前記窒化処理の際に形成された前記母材の最表面層をスパッタリングすると共に、前記被膜の構成原子、或いは構成分子と母材の構成原子との結合を有する混合層を形成し、該混合層上に硬質炭素系被膜を形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化処理した母材上に硬質炭素系被膜を形成する際に、予め母材上に形成する被膜の構成原子、或いは構成分子のイオンを照射し、該イオンの運動エネルギーを利用して、前記窒化処理の際に形成された前記母材の最表面層をスパッタリングすると共に、前記被膜の構成原子、或いは構成分子と母材の構成原子との結合を有する混合層を形成し、該混合層上に硬質炭素系被膜を形成したことを特徴とする回転圧縮機。

IPC (4件)：

F04B 39/00 ,  C23C 14/06 ,  F04C 18/356 ,  F04C 29/00

FI (5件)：

F04B 39/00 A ,  C23C 14/06 F ,  F04C 18/356 P ,  F04C 18/356 K ,  F04C 29/00 U