スパッタリングターゲット

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154872
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345330
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】ターゲットの寿命を短くすることなくスパッタリングターゲットの外周部における冷却効果を高めて、ダスト防止等の効果を得て、適正なスパッタリングが実現できるスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】スパッタされる材料ターゲット部分2と、材料ターゲット部分を冷却する機能を有するバッキングプレート3とから成るスパッタリングターゲット1で、バッキングプレートは材料ターゲット部分の外周部と接している外周部分が該材料ターゲット部分の方向に突出33しており、材料ターゲット部分の外周部は該突出に対応して面取り部21が設けられるなどして他の部分よりも厚みが小さくなって、冷却効果が高くなっているスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

スパッタリングに用いられるスパッタリングターゲットであって、スパッタされる材料ターゲット部分と、該材料ターゲット部分を冷却する機能を有するバッキングプレートとから成るとともに、上記バッキングプレートは上記材料ターゲット部分の外周部と接している外周部分が該材料ターゲット部分の方向に突出しており、該材料ターゲット部分の外周部は該突出に対応して他の部分よりも厚みが小さくなっていることを特徴とするスパッタリングターゲット。

Fターム (5件)：

4K029BD01 , 4K029CA05 , 4K029DC12 , 4K029DC22 , 4K029DC25

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