特許

J-GLOBAL ID：200903056022579402

石英ルツボ

発明者： 渡部 弘行 ,  藤代 勝 ,  橋本 尚英 ,  三瓶 桂子
出願人/特許権者： 株式会社倉元製作所
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-381927
公開番号（公開出願番号）：特開2006-021985
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：

【課題】 シリコン単結晶中の酸素濃度を低減するために、石英ルツボとシリコン融液との反応を抑制する。かつシリコン単結晶歩留まりを良好にする。【解決手段】 石英ルツボの内表面から30〜150マイクロンメーターの厚さの層にバリウムの他に結晶化抑制物質を含有してなることで、石英ルツボの内表面に結晶層を形成し、石英ルツボとシリコン融液との溶解量を減少させることにより、シリコン単結晶中に混入する酸素量を低く制御できる。かつシリコン単結晶歩留まりを向上させる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶を引き上げるための石英ルツボであって、シリコン単結晶中の酸素濃度を低減させることができることを特徴とする石英ルツボ。

IPC (3件)：

C30B 29/06 ,  C03B 20/00 ,  C30B 15/10

FI (3件)：

C30B29/06 502B ,  C03B20/00 H ,  C30B15/10

Fターム (7件)：

4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 石英ガラスルツボ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-007474   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 科学技術振興事業団, コマツ電子金属株式会社, 東芝セラミックス株式会社
• 単結晶シリコンの製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-368276   出願人：コマツ電子金属株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社, 科学技術振興事業団, 東芝セラミックス株式会社
• 単結晶の無転位収量の改善方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-154337   出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• シリコン単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-191779   出願人：信越半導体株式会社