特許

J-GLOBAL ID：200903056022956087

分光特性や感度をモニターする素子およびモニターする方法

発明者： 穂苅 泰明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214219
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049321
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像装置の撮像領域に設けられるカラーフィルタの分光特性やマイクロレンズの集光性能を簡便にモニターする素子および該素子を用いる簡易なモニター方法の提供。【解決手段】 モニター素子の受光領域にフォトダイオードとn型拡散層が配列され、フォトダイオード上部にはカラーフィルタとマイクロレンズが形成され、同色のカラーフィルタR,Bが設けられたフォトダイオードにはn型拡散層3Rと3Bから拡散層が延在して設けられ電気的に接続される。これらは固体撮像装置の撮像領域に設けられる画素と基本的に同一形状と寸法の画素を配列して構成され、n型拡散層3Rと3Bは各々配線により電極端子に接続され、直流電圧を印可して光電変換によりフォトダイオードに生じた電荷は、RとBの色ごとにn型拡散層を介して電流として検知される。

請求項（抜粋）：

分光特性や感度をモニターする素子において、受光領域がフォトダイオードと、電荷読み出しトランジスタと、電荷転送電極およびn型拡散層を含むCCDレジスタと、遮光膜と、複数の色相のうちのいずれかの色相を有するカラーフィルタ層と、マイクロレンズとから構成される画素を2次元的に配列してなる固体撮像装置の撮像領域と、少なくともCCDレジスタのn型拡散層以外は同一の形状および寸法を有する画素を配列して構成されてなることを特徴とするモニター素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G01M 11/00 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

H01L 27/14 Z ,  G01M 11/00 T ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 A

Fターム (32件)：

2G086EE01 ,  2G086EE05 ,  2G086FF01 ,  2G086HH07 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118BA30 ,  4M118CA04 ,  4M118CA40 ,  4M118DA03 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024DA01 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024GA01 ,  5C024GA11 ,  5C024GA52 ,  5C065BB42 ,  5C065BB48 ,  5C065CC01 ,  5C065DD17 ,  5C065EE05 ,  5C065EE06 ,  5C065EE11