吸光式ガス分析計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160712
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010874
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】従来干渉ガスの種類ごとに干渉補償検出器が必要であったのでこの検出器を含む光量検出機構の製作が面倒であり、また、従来光量検出機構を構成するバイドパス光フィルタの光透過波長帯域を狭くする必要があったのでこのフィルタの製作が面倒で、このため光量検出機構及びバンドパス光フィルタの製作が容易になるようにする。そうして、また、測定結果に干渉誤差が生じないようにする。【構成】被分析ガスを導入する測定セルと、測定成分ガスの吸光波長帯域に等しい光波長帯域Δλsを含む光波長帯域Δλmの光の量を検出する二個の光量検出器と、前記Δλsの光を吸収する第1光フィルタと、前記Δλmの全域にわたって光吸収を行わない第2フィルタとを設け、測定セルと第1フィルタとを透過した光が一方の光量検出器に入射しかつ測定セルと第2光フィルタとを透過した光が他方の光量検出器に入射するようにする。

請求項（抜粋）：

光束を出射する光源部と、前記光束が通る光路の途中に配置されかつ被分析ガスが導入される測定セルと、測定成分ガスの吸光特性における少なくとも一個の特定ピークが占める光波長帯域である特定波長帯域を含む所定の測定波長帯域の光の量を検出してこの検出結果に応じた一次検出信号を出力する二個の光量検出器と、前記光路の途中において前記測定セルと直列になるように配置されかつ前記測定波長帯域においては前記特定波長帯域においてのみ光吸収を行う第1光フィルタと、前記光路の途中において前記測定セルと直列になるように配置されかつ前記測定波長帯域において殆ど前記光吸収を行わないかまたは前記測定波長帯域の全域にわたってほぼ同じ吸光率で前記光吸収を行う第2光フィルタと、前記両一次検出信号の差を演算してこの演算結果に応じた二次検出信号を出力する演算部とを備え、前記二次検出信号によって前記被分析ガス中の前記測定成分ガスの濃度を測定する吸光式ガス分析計であって、前記測定セルを前記光束が該測定セル内の前記被分析ガスと共にこの測定セルを透過するように構成しかつ前記両光量検出器を一方の前記光量検出器に前記測定セルと前記第1光フィルタとを透過した前記光束が入射し他方の前記光量検出器に前記測定セルと前記第2光フィルタを透過した前記光束が入射するように配置したことを特徴とする吸光式ガス分析計。

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