特許

J-GLOBAL ID：200903056031090572

電界放出冷陰極とこれを用いた電子管

発明者： 井村 裕則 ,  巻島 秀男 ,  富張 美徳
出願人/特許権者： 日本電気株式会社 ,  関西日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337428
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201273
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】電界放出冷陰極のゲート電極への電力供給のためのワイヤボンディングを省略し、電界放出冷陰極を具備する陰極構体の小型化と設計自由度、耐環境性および信頼性向上を図る。【構成】電界放出冷陰極を具備する基板の裏面にゲート電極の引き出し電極を設けることにより、基板裏面より陰極動作電力を供給する。裏面に具備する引き出し電極は、基板に貫通するコンタクトホール内に形成され基板とは絶縁された導電体によりゲート電極と導通する。コンタクトホールは角錐形状をしており、コンタクトホール上には薄膜形成により形成される絶縁層により絶縁された導電体が導電性薄膜形成により形成されて具備する。

請求項（抜粋）：

導電性基板もしくは表面に導電層を有する絶縁層基板上に、1つもしくは複数の先端の尖ったコーンと前記コーンの先端を取り囲む開口部を有するゲート電極と前記基板と前記ゲート電極間に絶縁層を有する電界放出冷陰極において、前記基板を貫通するコンタクトホールと前記コンタクトホール内に形成された絶縁層と前記絶縁層上に形成され前記ゲート電極と導通する導電体を有し、前記ゲート電極への電圧は前記基板上の前記電界放出冷陰極が形成された面の裏面より供給されることを特徴とする電界放出冷陰極。

IPC (3件)：

H01J 1/30 ,  H01J 23/04 ,  H01J 29/48

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-308626
  
• 特開平4-167326
  
• 特開平4-179116