特許
J-GLOBAL ID：200903056041413310
カーボン膜の膜厚測定方法及び磁気記録媒体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048078
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251250
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 磁気記録媒体におけるカーボン膜の膜厚を、高い測定精度で、しかも簡便で安価に測定できる方法を提供する。【解決手段】 DLC保護膜の膜厚と、波長300〜550nmの区間の光に対するDLC保護膜の反射率が極小値となる光の波長との間に直線の相関がある。未知の膜厚のDLC保護膜について、反射率が極小値となる光の波長を測定し、図4と対比することにより、そのDLC保護膜の膜厚を測定できる。
請求項（抜粋）：
非磁性支持体上に形成された金属磁性膜と、その金属磁性膜上に形成されたカーボン膜とを備えた磁気記録媒体の前記カーボン膜の膜厚測定方法であって、前記カーボン膜面に対して、波長300〜550nmの光の反射率を測定し、その反射率が極小値となる光の波長とカーボン膜厚との直線的相関関係から、カーボン膜厚を測定することを特徴とするカーボン膜の膜厚測定方法。
FI (2件)：
G11B 5/84 C
, G11B 5/84 Z
5D112AA07
, 5D112BC05
, 5D112JJ01
