特許
J-GLOBAL ID：200903056044158389

圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子

発明者：
唐木 智明

唐木 智明 について

, 
安達 正利

安達 正利 について


出願人/特許権者：
富山県

富山県 について


代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-340409
公開番号（公開出願番号）：特開2008-150247
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：
【課題】実用性の高い抵抗加熱2段焼結法を用いて、より高いd33とd31値を有するチタン酸バリウム圧電セラミックスと、その製造方法及びそれを用いた各種の圧電振動子等を低コストで提供する。【解決手段】圧電体の性質を持つ50nm〜200nmのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、電気的な抵抗加熱等により2段階の焼結温度で焼成する。平均粒径1μm〜2μmで最大粒径5μm以下に抑制され、かつチタン酸バリウムの理論密度6.01g/cm3の98%以上の密度の焼結体を形成する。焼結体を、室温乃至80°Cで1kv/mmの電圧で30分間程度分極処理する。2段焼結法は、大気中、もしくは酸素雰囲気中で、電気的な抵抗加熱により、第1焼結温度の1230°C〜1340°Cに昇温した後、第2焼結温度の1150°C〜1200°Cに下げて一定時間維持して焼結する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電体の性質を持つ50nm〜200nmのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、2段階の焼結温度による2段焼結法で焼成し、平均粒径1μm〜2μmで最大粒径5μm以下に抑制され、かつ理論密度の98%以上の緻密な焼結体を焼成し、この焼結体を分極処理することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法。
IPC (5件)：
C04B 35/46 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17
FI (5件)：
C04B35/46 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 A ,  H03H3/02 B ,  H03H9/17 A
Fターム (12件)：
4G031AA06 ,  4G031AA11 ,  4G031BA10 ,  4G031CA04 ,  4G031GA03 ,  4G031GA07 ,  4G031GA09 ,  4G031GA11 ,  5J108BB04 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM12
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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