特許
J-GLOBAL ID：200903056047794731
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305998
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141961
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】カンチレバーに遮られることなく励起光を試料に照射できる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】探針12はカンチレバー14の自由端に設けられている。両者は光学的に透明な材料で作られている。カンチレバー14は、中央に開口を有する円盤状のガラス板16に、開口の中心に探針12が来るように取り付けられている。探針12とカンチレバー14とガラス板16の下面には光学的に透明な導電膜18が設けられている。カンチレバー14の自由端部の上面(探針12の反対側の面)には干渉反射膜20が設けられている。この干渉反射膜20は、光ファイバー34から射出された光のうち、光ファイバー干渉計からの変位検出光だけを反射し、他の光は透過する。このガラス板16は対物レンズ24と共に支持部材22に取り付けられ、円筒型圧電アクチュエーター26により支持されている。
請求項（抜粋）：
光学的に透明な探針と、この探針を自由端部に有する光学的に透明なカンチレバーと、探針と試料の間隔を制御しながら、探針を試料表面に沿って走査する走査手段と、カンチレバーの自由端部の変位を検出する変位検出光学系であって、変位検出光を射出する光源と、変位検出光を反射手段に照射する手段と、カンチレバーの自由端部に設けた変位検出光のみを選択的に反射する反射手段と、反射手段からの反射光を受光してカンチレバーの自由端部の変位を検出する手段とを有している変位検出光学系と、試料に光を照射して試料の諸特性を検出する他の光学系とを備えている原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01N 21/63
, H01J 37/28
