エアフィルター、エアフィルターの製造方法、局所設備、クリーンルーム、処理剤、および濾材の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1996002076
公開番号（公開出願番号）：WO1997-004851
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月13日
要約：

【要約】エアフィルターの濾材、およびこれとフレームとの間を密封するシール材として、使用時にガス状有機物を発生しないものを用いる。具体的には、繊維を布状の濾材に形成するための処理剤に含まれる非シリコーン系撥水剤として、炭素数19以下の脂肪族炭化水素を含まない合成パラフィンを使用する。前記処理剤およびシール材に添加する可塑剤として分子量400以上のカルボン酸エステル等を、酸化防止剤として分子量300以上のフェノール系化合物を使用する。これにより、クリーンルーム内や半導体製造装置内等にガス状有機物を存在させないようにすることができる。また、前記濾材およびシール材を、空気中に有機リン化合物およびホウ素化合物を放出しない材料で形成することによって、半導体製造用として特に好適なクリーンルームおよび局所設備を提供する。

請求項（抜粋）：

繊維を処理剤で処理して布状に形成された濾材と、この濾材を入れるフレームと、このフレームと濾材との間を密封するシール材とで構成され、空気中の浮遊粒状物質を捕集するエアフィルターにおいて、前記濾材およびシール材のうち少なくとも一方が使用時にガス状有機物を発生しないものであることを特徴とするエアフィルター。

IPC (1件)：

B01D 39/14

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