特許
J-GLOBAL ID：200903056052280215
移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
網野 誠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175799
公開番号（公開出願番号）：特開平5-000708
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台車の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がなく、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができる移載装置を提供する。【構成】 走行レールRに沿って走行する走行台車1に着脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリア3を載置するパレット2と、このパレット2に係合可能なハンド部8a,8bを有し、走行台車1と前記キャリア3を保管するストッカ5との間で前記パレット2を移載する移載ロボット6とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
走行レールに沿って走行する走行台車に着脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリアを載置するパレットと、このパレットに係合可能なハンド部を有し、走行台車と前記キャリアを保管するストッカとの間で前記パレットを移載する移載ロボットとを具備した移載装置。
IPC (5件)：
B65G 1/04
, B65G 1/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
, B65G 47/90
