特許
J-GLOBAL ID：200903056053781501
基板位置決め方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051989
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260455
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 大形基板でも真空状態であると否とに係らず、基板回転テーブルより落下する等のおそれがなく、確実なエッジ検出ができ、正確な基板位置決めを行うことができ、かつパーティクルの発生を抑制することができる基板位置決め方法及び装置を提供する。【構成】 大部分が載置された基板10を所定の位置に静止した状態でエッジ検出センサ7を,所定位置の回転軸を中心に回転して基板10のエッジを検出し、所定位置の基板10の中心軸及びオリエンテーションフラット位置を求め、基板位置を補正することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
大部分が載置された基板を所定の位置に静止した状態でエッジ検出センサを,所定位置の回転軸を中心に回転して基板のエッジを検出し、所定位置の基板の中心軸及びオリエンテーションフラット位置を求め、基板位置を補正することを特徴とする基板位置決め方法。
IPC (4件)：
G01B 11/26
, G01B 11/00
, G05D 3/12
, H01L 21/68
