微小構造物加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033730
公開番号（公開出願番号）：特開平8-229780
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【目的】被加工物の形状を選ぶことなく高精度な加工を施すことができる微小構造物加工装置を提供することを目的とする。【構成】被加工物11を加工し且つ研磨材2を被加工物11の間に保持するための加工ツール1と、磁性流体に砥粒を分散させた研磨材2と、加工ツール1を支持し且つ微小に振動させる振動部3と、加工ツール1から被加工物11に働く荷重を検出するための荷重検出部4と、この荷重検出部4の検出値が常時一定の荷重となるよう加工ツール1を荷重方向に微動させる微動機構部5と、微動機構部5を制御するための微動制御部6と、被加工物11に対する加工点を移動させるための加工ツールステージ7と、被加工物を支持するためのサンプルステージ8と、加工ツールステージ7とサンプルステージ8を制御するステージ制御部9とを備えている。

請求項（抜粋）：

被加工物を加工し且つ研磨材を被加工物との間に保持するための加工ツールと、砥粒を分散させた前記研磨材と、前記加工ツールを支持し且つ微小に振動させる振動部と、前記加工ツールから前記被加工物に働く荷重を検出するための荷重検出部と、この荷重検出部の検出値が常時一定の荷重となるよう前記加工ツールを荷重方向に微動させる微動機構部と、前記微動機構部を制御するための微動制御部と、前記被加工物に対する加工点を移動させるための加工ツールステージと、被加工物を支持し前記加工ツールに対し相対移動するためのサンプルステージと、ステージ制御部とを備えた微小構造物加工装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-041175
特開昭53-140694
特開昭63-260752

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