特許

J-GLOBAL ID：200903056061780212

ステージ装置及びその駆動方法

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-208550
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022960
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】ステージ装置における位置決めのためのリニアモータの発熱を低減する。【解決手段】粗動ステージ300は、Xスライダ121及びYスライダ124をベース定盤122に対して移動するX駆動用リニアモータとY駆動用リニアモータを有する。微動ステージ100は、Xスライダ上板121aに結合される中間板120と、この中間板120と微動テーブル101を連結する微小駆動用リニアモータを有する。また、微動ステージには、第2テーブルと前記第2テーブルとの間に設けれ、前記第1リニアモータの加減速に応じて該第2テーブルに加速力を付与する電磁継ぎ手が設けられ、Xスライダ121、Yスライダ124の移動時の加減速区間において、微動テーブルに加速度を付与する。

請求項（抜粋）：

第1テーブルに連結された第1リニアモータ部を有し、該第1リニアモータ部の駆動により該第1テーブルを基礎テーブルに対して移動する第1ステージと、前記第1テーブルと第2テーブルに連結された第2リニアモータ部を有し、該第2テーブルを移動する第2ステージと、前記第1テーブルと前記第2テーブルとの間に設けれ、前記第1リニアモータの加減速に応じて該第2テーブルに加速力を付与する電磁継ぎ手とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (19件)：

2F078CA01 ,  2F078CA08 ,  2F078CB13 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031LA11 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC19