歪みの測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-106358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304038
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】透明な被検査体の歪みの状態を簡単な操作によって高精度、高速で測定することが可能な歪み測定方法を提供する。【構成】所定個数の検査領域に分割され各検査領域毎にマ-クを有するテストパターン(3)を透明な被検査体(1)を介してスクリ-ン(4)上に結像させ、画像処理により各マ-クの移動量と各マ-ク間の距離を測定することによって被検査体(1)の歪み状態を検出する。

請求項（抜粋）：

透明な被検査体(1)、均一なパターンを有するテストパタ-ン(2)、m×n個(但し、m及びnは共に2以上の整数)の検査領域に分割され各検査領域毎にマ-クを有するテストパターン(3)、テストパタ-ンの像を被検査体(1)を介して結像させるためのスクリ-ン(4)、横方向にi列、縦方向にj行に配列したi×j個(但し、i及びjは共に50以上の整数)の画素でスクリ-ン(4)の検査領域全体を読みとることが可能な画像読取機(5)及び画像処理装置(6)を用いて、先ず、テストパタ-ン(2)及びテストパターン(3)をそれぞれ被検査体(1)を介して結像させたスクリ-ン(4)上の画像をそれぞれ画像Aij及び画像Bijとして画像読取機(5)で読み取ってそれらの画像を画像処理装置(6)に入力し、次いで画像中のノイズを除去するためのパラメ-タ-C1もしくはC2を用いて、演算式 Dij=Aij-C1 -Bij (1)または Dij=Aij×C2 -Bij (2)で演算処理することによってマーク部分のみを抽出した画像Dijを算出し、更にテストパターン(3)の各検査領域におけるマ-ク及びその近傍の所定範囲の領域に対応する画像Dijについて式(3)によって前記のm×n個の各検査領域毎の画素の輝度に関する重心座標(Xkl,Ykl)(但し、kは1〜mの整数、lは1〜nの整数を示す)を測定し、一方、前記テストパターン(2)及びテストパターン(3)をそれぞれスクリ-ン(4)の位置に設置した状態でそれらの各パタ-ンをそれぞれ画像Eij及び画像Fijとして画像読取機(5)で読み取ってそれらの画像を画像処理装置(6)に入力し、次いで画像中のノイズを除去するためのパラメ-タ-C1もしくはC2を用いて、演算式 Gij=Eij-C1 -Fij (4)または Gij=Eij×C2 -Fij (5)で演算処理することによってマーク部分のみを抽出した画像Gijを算出し、更にテストパターン(3)の各検査領域におけるマ-ク及びその近傍の所定範囲の領域に対応する画像Gijについて式(6)によって前記のm×n個の各検査領域毎の画素の輝度に関する重心座標(X’kl,Y’kl)(但し、kは1〜mの整数、lは1〜nの整数を示す)を測定し、しかる後に、各検査領域毎に画像Dijの重心座標(Xkl,Ykl)と画像Gijの重心座標(X’kl,Y’kl)とを比較して、各検査領域毎の重心座標の差を測定することによって被検査体(1)の歪みを測定する方法。

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