特許

J-GLOBAL ID：200903056066584403

チタン系被膜の形成方法

発明者： 長岡 仁 ,  菅野 裕
出願人/特許権者： 株式会社新潟鉄工所
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-328839
公開番号（公開出願番号）：特開平7-207446
出願日： 1990年07月04日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】【目的】 金属基体の表面に、色調が美しく、かつ高温に曝しても変色等のない、耐熱性に優れたTi系被膜を形成させる。【構成】 基体表面にTi被膜およびTiN被膜を順次形成した後、この基体を酸素と窒素とからなる混合雰囲気中にて350〜500°Cで加熱し、上記TiN被膜の表面に透明なTiO2被膜を形成する色調安定化処理を行う。その結果、大気中の酸素の侵入が、TiO2被膜により抑制される。しかも、TiO2被膜は透明であるため、TiN被膜の金色の色調に悪影響をおよぼさない。ここで、上記混合雰囲気中における酸素と窒素との混合比(O2:N2)は、O2:N2=1:5〜1:20の範囲内にあることが望ましく、かつ上記TiO2被膜の膜厚は、1000オングストローム未満であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

基体表面にチタン被膜および窒化チタン被膜を順次形成した後、この基体を酸素と窒素とからなる混合雰囲気中にて350〜500°Cで加熱し、上記窒化チタン被膜の表面に透明な酸化チタン被膜を形成する色調安定化処理を行うことを特徴とするチタン系被膜の形成方法。

IPC (3件)：

C23C 14/58 ,  C23C 14/06 ,  A47J 37/10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-138066
  
• 特開昭52-149234