酸化チタン膜の製造方法、酸化チタン膜および太陽電池

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-312394
公開番号（公開出願番号）：特開2002-121024
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：

【要約】【課題】光電変換効率に優れる酸化チタン膜、酸化チタン膜の製造方法および太陽電池を提供すること。【解決手段】酸化チタン膜6は、主として酸化チタンで構成される原料8を溶射により、膜状に形成されたものである。この溶射は、陽極ノズル91と、陰極92とを有する溶射ガン9を備えたプラズマ溶射装置を用いて行われる。作動ガス流路93から作動ガスを供給しつつ、陽極ノズル91と陰極92との間にアークを発生させることにより、ジェットプラズマが発生する。さらに、材料通路95から、このジェットプラズマ中に原料8を供給することにより、活性化された原料8が第1の電極3の上面に吸着し、酸化チタン膜4が形成される。原料8は、主として二酸化チタンで構成されたものであるのが好ましい。また、原料8は、平均粒径が10nm〜100μmの粉末であるのが好ましい。原料8は、噴射時において、その中心部付近が固体状態であるのが好ましい。このような溶射は、水素ガスを含む雰囲気中で行われるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

主として酸化チタンで構成される原料を溶射により、膜状に形成することを特徴とする酸化チタン膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 23/04 , C23C 4/10 , H01L 31/04

FI (4件)：

C01G 23/04 C , C23C 4/10 , H01L 31/04 H , H01L 31/04 L

Fターム (13件)：

4G047CC03 , 4G047CD02 , 4G047CD07 , 4K031AA06 , 4K031CB18 , 4K031CB42 , 4K031DA04 , 4K031EA07 , 4K031EA10 , 5F051AA20 , 5F051CB30 , 5F051DA05 , 5F051FA04

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