ウェーハ加工装置用コンディショナー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399744
公開番号（公開出願番号）：特開2003-200342
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェーハ加工装置の研磨部材や研削部材を良好にドレッシングすることができるコンディショナー装置を提供する。【解決手段】本発明のコンディショナー装置10は、まず、油圧シリンダ40のピストン42を伸長し、回転軸22を介してドレスプレート18を下降移動させ、ドレス用砥石20を研磨布14に押し付ける。次に、モータ28を駆動してドレス用砥石20を回転させるとともに定盤12を回転させて研磨布14のドレッシングを開始する。この時のドレス用砥石20を回転させるためのトルクは、トルク検出センサ34によって検出されており、このトルク情報はモニタ装置46の制御部47に出力され、制御部47によって監視される。研磨布14のドレッシングが始まると、ドレッシングの進行に伴い、研磨布14から受けるドレス用砥石20の回転抵抗は大きくなりトルクは上昇していく。そのトルクの変動をモニタ装置46の制御部47で監視し、トルクがドレッシング完了トルクT1に到達した時に、ピストン42を上昇させてドレッシング作業を終了する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを研磨又は研削するウェーハ加工装置に設けられるとともに、該ウェーハ加工装置のウェーハ研磨部材又はウェーハ研削部材をドレッシングするウェーハ加工装置用コンディショナー装置において、該コンディショナー装置は、装置本体と、該装置本体に設けられ、前記ウェーハ研磨部材又はウェーハ研削部材に押し付けられるとともに回転されてウェーハ研磨部材又はウェーハ研削部材をドレッシングするドレス用砥石と、該ドレス用砥石によるドレッシング時のドレス用砥石を回転させるためのトルクを検出するトルク検出手段と、該トルク検出手段で検出された前記トルクを監視するモニタ手段と、を有することを特徴とするウェーハ加工装置用コンディショナー装置。

IPC (4件)：

B24B 37/00 , B24B 53/00 , B24B 53/02 , H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 37/00 A , B24B 53/00 A , B24B 53/02 , H01L 21/304 622 M

Fターム (7件)：

3C047AA34 , 3C047FF08 , 3C058AA07 , 3C058AA19 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17

前のページに戻る