特許

J-GLOBAL ID：200903056084125203

センサ及びその製造方法

発明者： 石田 陽平 ,  宮田 浩克
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-312402
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102154
出願日： 2007年12月03日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：

【課題】 特定のガス分子の高選択検出を行うことが可能であるセンサを提供することを目的とする。【解決手段】 そこで、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物又は無機酸化物で被覆されているセンサを提供するものである。 また、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化スズを含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内に無機物の粒子が担持されているセンサを提供するものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、 前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、 前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物で被覆されていることを特徴とするセンサ。

IPC (3件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/02

FI (4件)：

G01N27/12 B ,  G01N27/12 C ,  G01N27/00 K ,  G01N27/02 Z

Fターム (18件)：

2G046AA03 ,  2G046AA05 ,  2G046AA13 ,  2G046AA19 ,  2G046BA01 ,  2G046BA03 ,  2G046BB02 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G060AA02 ,  2G060AA03 ,  2G060AB03 ,  2G060AB10 ,  2G060AB17 ,  2G060AD06 ,  2G060AF08 ,  2G060BA01 ,  2G060JA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-344450