レイアウト設計データのデータ変換方法およびデータ変換装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193612
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005348
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】最適化によって図形論理演算対象を少なくして中間データの削減と処理時間の短縮を図る。【解決手段】レイアウト設計データの入力部14と、複数の図形データに付されたレイヤ番号を基準にした図形論理演算を行うためのレイヤ番号と図形データとの関連付けを行うためのデータベース構築部16と、図形データとレイヤ番号との関連性から図形論理演算を省くためのデータ変換指示情報の生成部18と、再定義したレイヤ番号を変更したり、レイヤ番号を削除するレイアウト設計データの最適化を行うレイアウト設計データ最適化部22と、最適化されたデータ変換指示情報に基づいて最適化されたレイアウト設計データに対して図形論理演算処理を行うデータ変換部26とで構成される。再定義した図形データに対して図形論理演算処理することで、図形論理演算に使用する中間データが大幅に削減される。

請求項（抜粋）：

製品仕様に基づいて作製されたLSI回路設計の段階で生成される図形データよりなるレイアウト設計データを使用して図形論理演算処理しながらマスクパターンデータに変換するときのレイアウト設計データのデータ変換方法において、複数の図形データのうち、隣接するか重複する複数の図形データに対してその図形データを区分するために与えられた異なる複数のレイヤ番号を参照してその複数の図形データに対して新たなレイヤ番号を再定義し、再定義したレイヤ番号に基づいたレイヤ番号の変更処理を行うステップと、再定義されたレイヤ番号から最適なデータ変換処理を行うためのデータ変換指示を行うステップと、最適化されたデータ変換指示に基づき、変更された上記レイヤ番号の付された最適化された図形データを順次図形論理演算するステップと、この図形論理演算過程で発生する論理演算結果としての中間データを上記データ変換指示に基いて保存するステップと、生成された中間データを図形論理演算データとして次に行うべき図形論理演算過程で使用したとき、上記データ変換指示に基づいてその中間データを削除するステップと、最終的に残った中間データをマスクパターンデータとして使用されるレイアウト設計データとして出力するステップとからなることを特徴とするレイアウト設計データのデータ変換方法。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , G06F 17/50 652 , G06F 17/50 658 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 1/08 A , G06F 17/50 652 K , G06F 17/50 658 M , H01L 21/30 502 P

Fターム (5件)：

2H095BA01 , 2H095BB01 , 5B046AA08 , 5B046BA06 , 5B046FA06

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