特許
J-GLOBAL ID：200903056098168525
基板処理装置の構成ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184524
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016988
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置の基板搬送ユニットのように、基板支持アームなどの移動部を有する構成ユニットにおいて、移動部の動作に伴う振動の発生を防止できるようにする。【解決手段】 移動部10の動作に伴って作動し移動部の動作によって生じる重心の位置ずれを解消する重心調整手段22を設けた。
請求項（抜粋）：
基板処理装置の一部を構成し、移動部を有する、基板処理装置の構成ユニットにおいて、前記移動部の動作に伴って作動し移動部の動作によって生じる重心の位置ずれを解消する重心調整手段を設けたことを特徴とする、基板処理装置の構成ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
