特許

J-GLOBAL ID：200903056106361321

位置検出装置

発明者： 松爲 久美子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-199172
公開番号（公開出願番号）：特開2009-036549
出願日： 2007年07月31日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：

【課題】顕微鏡観察下における微粒子の3次元位置を、速やかに高精度で検出する。【解決手段】3次元位置検出装置10においては、対物レンズ12と第2対物レンズ15の間の瞳面に、平行光束を分割・偏向する偏向光学部材13および分割・偏向される前の平行光束の偏向光学部材13への透過を制限するマスク14が設けられている。マスク14は、偏向光学部材13で分割された各々の光束に対し、結像光学系の瞳面における光束断面形状を所定の形状にするために設けられている。マスク14は、所定値以上の透過率を有する開口21を有する。本発明は、顕微鏡観察下における微粒子3次元位置を検出する光学系に適用することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料の光学像を像面に結像させる結像光学系と、 前記結像光学系の瞳、前記瞳の近傍、または前記瞳の共役面に配置され、前記試料からの光束を複数に分割し、分割された複数の各光束の進行方向を相対的に異なる方向に偏向させる分割偏向手段と、 前記像面に配置され、前記分割偏向手段により分割された各光束から得られる前記結像光学系による像の2次元分布を観測する観測手段を有し、 前記観測手段によって観測された前記結像光学系による像の2次元分布情報に基づき、前記試料の位置を算出する位置検出装置において、 前記結像光学系の対物レンズよりも観測手段側に配置され、前記分割偏向手段によって分割された複数の各光束の断面形状を所定の形状を制限する光束制限手段を 備えることを特徴とする位置検出装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 H

Fターム (13件)：

2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065BB15 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL47 ,  2F065LL57 ,  2F065PP24

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 3次元位置観測方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-197049   出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 学校法人学習院