特許
J-GLOBAL ID：200903056106906336
セラミックスコーティング薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038467
公開番号（公開出願番号）：特開平7-247191
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 緻密でしかも微細粒子で構成されるセラミックスコーティング薄膜を容易かつ効率的に製造する。【構成】 焼成によりセラミックスを生成する前駆体を含有する前駆体溶液を基体に塗布した後、焼成により生成するセラミックスの結晶化温度以上であって、該前駆体の熱分解温度以上の温度で熱処理し、その後該熱処理温度より高い温度で焼成する。【効果】 熱処理で、セラミック前駆体が熱分解して微小の結晶が数多く生成し、その後の焼成でこの微小な結晶を核として緻密化が進行する。
請求項（抜粋）：
焼成によりセラミックスを生成する前駆体を含有する前駆体溶液を基板上に塗付した後焼成することによりセラミックスコーティング薄膜を製造する方法において、該前駆体溶液を塗布した後、焼成により生成するセラミックスの結晶化温度以上であって、該前駆体の熱分解温度以上の温度で熱処理し、その後、該熱処理温度より高い温度で焼成することを特徴とするセラミックスコーティング薄膜の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 41/87
, C01B 13/32
, H01C 7/04
