特許

J-GLOBAL ID：200903056107660802

薄膜形成治具

発明者： 山口 秀樹 ,  中島 優一 ,  井出 利則
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308903
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131744
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 スペーサの強度を確保できる薄膜形成治具を得る。【解決手段】成膜装置において薄膜を形成する際に用いる薄膜形成治具に於いて、薄膜形成治具は少なくとも被成膜部材外形を位置決めするスぺーサーと、被成膜部材に形成する薄膜形状に穴明けした窓を有しスぺーサーの上下に配置される2枚のマスクで構成され、該マスクの被成膜部材側の面を被成膜部材に重なる部分を残してハーフエッチングし、スぺーサーは被成膜部材より厚く形成され、被成膜部材より厚い部分は前記マスクのハーフエッチング部に収納される薄膜形成治具とする。

請求項（抜粋）：

成膜装置において薄膜を形成する際に用いる薄膜形成治具に於いて、薄膜形成治具は少なくとも被成膜部材外形を位置決めするスぺーサーと、被成膜部材に形成する薄膜形状に穴明けした窓を有しスぺーサーの上下に配置される2枚のマスクで構成され、該マスクの被成膜部材側の面を被成膜部材に重なる部分を残してハーフエッチングし、スぺーサーは被成膜部材より厚く形成され、被成膜部材より厚い部分は前記マスクのハーフエッチング部に収納されることを特徴とする薄膜形成治具。

IPC (4件)：

C23C 14/50 ,  H01L 21/285 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/02

FI (4件)：

C23C 14/50 D ,  H01L 21/285 P ,  H03H 3/02 A ,  H01L 41/08 C

Fターム (2件)：

4K029HA03 ,  4M104DD34