特許
J-GLOBAL ID：200903056109106128
ガスレーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-088020
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274485
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 グロー放電を安定して維持し、レーザ出力を安定化し高品質の加工性能を得ることができるガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。【解決手段】 レーザガスを循環させるためのガス配管経路を具備し、配管経路の一部に電極を配置し、前記電極に接続された高電圧電源によりレーザガスを放電励起し、放電空間を流れる放電電流を検出し制御する手段を有し、循環しているレーザガスの一部をガス配管経路外部へ排出し、排出量と同量のレーザガスを新たにガス配管経路内へ供給し、レーザ光を発する光共振器を備えたガスレーザ発振装置であって、レーザガス組成比の変化などによる放電電流振動率の変動に応じてレーザガス供給量を制御するよう制御した構成としたことで安定したグロー放電を維持し、レーザ出力を安定化し高品質の加工性能を得ることができるガスレーザ発振装置。
請求項（抜粋）：
レーザガスを循環させるための送風機と、前記レーザガスを循環させるためのガス配管経路と、前記配管経路の一部に配置した電極と、この電極に接続された高電圧電源と、放電空間を流れる放電電流を検出し制御する手段と、循環しているレーザガスの一部をガス配管経路外部へ排出し、排出量と同量のレーザガスを新たにガス配管経路内へ供給し、レーザ光を発する光共振器とを備え、放電電流振動率の変動に応じてレーザガス供給量を制御するガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 J
, H01S 3/097 A
5F071EE02
, 5F071HH02
, 5F071HH03
, 5F071JJ05
