特許

J-GLOBAL ID：200903056112947222

外観検査方法及び外観検査装置

発明者： 川辺 真也
出願人/特許権者： 山口日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253644
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097498
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 外観検査装置の設定パラメータである光源のライトレベルを個人差なく迅速に設定することを可能にする。【解決手段】 ウエハ表面に発生した異物及び回路パターン異常などの外観異常を検知する外観検査装置のライトレベルを、検査領域内の複数エリアの画像の濃淡情報に基いて設定することで、検査感度の個人差がなく、最適な検出感度が迅速に得られる

請求項（抜粋）：

ウエハに形成されたチップのサイズ及び配置等を記録したウエハマップ、チップ内の検査領域、検査倍率、検査時のライトレベル、欠陥判別閾値、ウエハ内の検査対象チップ等を設定して検査ファイルを作成した後、前記検査ファイルに基いて、検査領域の画像情報から特徴量を抽出して評価値と比較し、欠陥の有無を判別してウエハの外観を検査する外観検査方法に於いて、前記検査領域内の複数の領域をそれぞれライトレベル設定エリアに選定し、選定された前記複数のライトレベル設定エリアの画像の濃淡情報から検査時のライトレベルを設定することを特徴とする外観検査方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 21/88 E ,  G06F 15/62 405 A