特許
J-GLOBAL ID：200903056115758277
光学部品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139170
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333672
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】樹脂材料からなる基体上に、実用に供し得る耐擦傷性及び所望の反射防止機能を有する膜を、密着性良好に備えた光学部品を、生産性良く製造することができる光学部品の製造方法を提供する。【構成】(1)樹脂基体S上に、蒸着とイオン照射を併用してシリコン酸化物膜を形成し、その外側に、シリコン酸化物膜、チタン酸化物膜、ジルコニウム酸化物膜、アルミニウム酸化物膜、タンタル酸化物膜からなる群より選ばれた1又は複数の膜を、反射防止効果が得られるように形成する。(2)(1)の方法において、シリコン酸化物膜に代えてシリコン窒化物膜を形成する。(3)基体S上に、蒸着とイオン照射を併用してシリコン酸化物膜を形成し、その外側に、蒸着とイオン照射を併用したシリコン窒化物膜と(1)の方法に示す群より選ばれた1又は複数の膜とを、反射防止効果が得られるように形成する。
請求項（抜粋）：
樹脂からなる光学部品基体上に、蒸着とイオン照射を併用してシリコン酸化物膜を形成し、その外側に、シリコン酸化物膜、チタン酸化物膜、ジルコニウム酸化物膜、アルミニウム酸化物膜及びタンタル酸化物膜からなる群より選ばれた1又は複数の膜を形成することを特徴とする光学部品の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/08 N
, C23C 14/48 D
