特許
J-GLOBAL ID：200903056119600961
真空ポンプの冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216892
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174099
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 外部から冷却水を導くための配管工事を省略でき、真空ポンプの設置場所の制約を受けず、複数個所に冷却部を形成した真空ポンプであっても、その複数個の冷却部を個々に適正温度に、確実に冷却し得る真空ポンプの冷却装置を提供すること。【構成】 複数個の冷却部を形成した真空ポンプにおいて、第1,第2の熱交換器15a,15bと、これら第1,第2熱交換器15a,15bに対向させて配置された第1,第2の冷却ファン16a,16bとを備えた空冷式熱交換器を設置し、前記第1,第2の熱交換器15a,15bと真空ポンプの各冷却部とを、第1,第2の熱交換器15a,15bに取り付けられた給液通路17a,17bと冷却液循環ポンプ13を含む冷却液循環系統により完全閉ループに接続し、前記第1,第2の冷却ファン16a,16bの動力源を個々に制御する冷却ファン制御部20を設けて構成した。
請求項（抜粋）：
複数個の冷却部を形成した真空ポンプにおいて、熱交換器と、この熱交換器に対向させかつ互いに間隔をおいて配置された複数個の冷却ファンとを備えた空冷式熱交換器を設置し、前記熱交換器と真空ポンプの各冷却部とを、熱交換器における互いに異なる位置に取り付けられた給液通路を有する冷却液循環系統により完全閉ループに接続するとともに、前記冷却ファンの動力源を個々に制御し、真空ポンプの各冷却部に供給する冷却液の温度を調整する制御部を設けたことを特徴とする真空ポンプの冷却装置。
IPC (2件)：
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