特許

J-GLOBAL ID：200903056125970274

マイクロアクチュエータ

発明者： 角 浩二
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279736
公開番号（公開出願番号）：特開2000-108340
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】 結晶の相転移による体積変化を利用したマイクロアクチュエータをインク吐出駆動源とするインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 本発明のインクジェット式記録ヘッドは、インクが充填される加圧室10を備える加圧室基板の少なくとも一方の面に、マイクロアクチュエータ5を配置したものである。マイクロアクチュエータ5は、所定の入力信号を受けて発熱する発熱体16と、発熱体16により加熱され、固有の温度で結晶構造が相転移し、体積変化を生じる相転移膜14とを備える。相転移膜14をチタン酸バリウムで成膜すると、120°Cの相転移温度で正方晶系から立方晶系に相転移する。このときの体積変化で振動板膜13を介して加圧室10内のインク圧を高めてノズル21からインク滴を吐出する。

請求項（抜粋）：

所定の入力信号を受けて発熱する発熱体と、前記発熱体により加熱され、固有の温度で結晶構造が相転移し、体積変化を生じる薄膜と、を備えるマイクロアクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF34 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG46 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP14 ,  2C057AP24 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP77 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13