特許
J-GLOBAL ID：200903056126340614
基板移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-038966
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335428
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルの発生を抑えることができる基板移載装置を提供する。【解決手段】 ノーマルピッチにて基板を収容するキャリアSC1、SC2とハーフピッチにて基板を収容可能なキャリアECとを順次1対の保持板33の下方に移動する回転台と、各キャリアから基板を出し入れする突上台23と、突上台23との間で基板の受渡を行う2つの保持板33とを備え、保持板33を水平方向を向く軸34を中心に回転可能とするとともに基板の外縁部を狭持するよう保持板33の表面に異なった形状の溝を形成する。保持板33はキャリアSC1から基板WAを受け取り、さらにキャリアSC2から基板WBを基板WAの間に挿入するように受け取ってこれらの基板をハーフピッチにて保持し、その後、突上台23がこれらの基板をキャリアECへと収容する。これにより、簡単な機構で基板の移載が可能となり、パーティクルの発生を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
基板群を第1ピッチにて起立姿勢で平行配列して収容可能な第1キャリアと、それぞれが所定数の基板を前記第1ピッチの整数倍である第2ピッチにて起立姿勢で平行配列して収容可能な複数の第2キャリアとの間で基板の移載を行う基板移載装置であって、(a) 所定数の基板を収容する複数の第2キャリアから、各所定数の基板同士が基板の配列方向に第1ピッチずつずれた状態で前記所定数の基板を順次に取り出す取出手段と、(b) 前記取出手段によって取り出された各所定数の基板を複数回受け取り、該所定数の基板の複数組を合わせて前記基板群として起立姿勢にて保持可能な保持手段と、(c) 前記保持手段から前記基板群を受け取り、前記第1キャリアへと収容する収容手段と、を備え、前記保持手段が、(b-1) 前記基板群のそれぞれの基板の外縁部を保持する2つの保持板と、(b-2) 前記2つの保持板のうち少なくとも一方を前記基板群の配列方向を向く軸を中心に回転させる回転手段と、を有し、前記保持手段が前記取出手段から前記所定数の基板を順に複数回受け取って前記基板群として保持するために、前記2つの保持板のそれぞれに複数の異なった凹凸形状が形成されていることを特徴とする基板移載装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 C
