特許
J-GLOBAL ID：200903056130448128
ウエハテスト用搬送装置及びそのウエハテスト方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229535
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067855
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 複数のテスターでテストが必要な場合でも、ウエハカセットへの出し入れ、ウエハステージ用パラメータのセット、ウエハアライメントが1回で済み、作業効率の向上を図ることができるウエハテスト用搬送装置及びそのテスト方法を提供する。【解決手段】 ウエハテストを行うウエハ搬送装置において、複数のテスター接続用開口部2,12と、これらの複数のテスター接続用開口部2,12にそれぞれ接続されるテスター9,15と、前記複数のテスター接続用開口部2,12間をウエハステージ3が移動可能なウエハステージ移動用レール4と、テスト結果記憶部10と、アライメント補正値記憶部11とを備え、1台のウエハ搬送装置1内で複数のテストを実行できるようにした。
請求項（抜粋）：
ウエハテストを行うウエハ搬送装置において、(a)複数のテスター接続用開口部と、(b)該複数のテスター接続用開口部にそれぞれ接続されるテスターと、(c)前記複数のテスター接続用開口部間をウエハステージが移動可能なウエハステージ移動用レールと、(d)テスト結果記憶部と、(e)アライメント補正値記憶部とを備え、(f)1台のウエハ搬送装置内で複数のテストを実行できるようにしたことを特徴とするウエハテスト用搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 B
, H01L 21/68 N
