特許
J-GLOBAL ID：200903056146218025
フィルタリーク検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168430
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014532
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 フィルタリーク検査において、その検査精度を向上させる。【解決手段】 並置フィルタ群Gを介して浄化対象室2に空気供給する給気チャンバ5への空気供給風路8の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体Pを混入する混入手段12を、第1送気手段12Aから発生用気体A1の供給を受けて、その発生用気体A1中に分散する状態の粉状体Pを発生する発生手段12Bと、この発生手段12Bから発生用気体A1とともに送出される粉状体Pを、第2送気手段12Aから供給される希釈用気体A2と合流させて希釈する希釈手段12Cと、この希釈手段12Cから発生用気体A1及び前記希釈用気体A2とともに送出される粉状体Pを、空気供給風路8の通過空気に散布する散布手段12Dとを備える構成にしてある。
請求項（抜粋）：
浄化対象室の天井面又は側面に複数のフィルタを並列に配置し、その並置フィルタ群の裏面側に、この並置フィルタ群を介して前記浄化対象室へ空気を供給する給気チャンバを設けるクリーンルーム設備において、前記給気チャンバに対する空気供給風路の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体を混入する混入手段と、前記並置フィルタ群の出口面における各検査箇所から下流側吸引具により空気を吸引捕集して、その捕集空気中における前記粉状体の粒子量を測定する下流側測定手段とを設けるフィルタリーク検査装置であって、前記混入手段を、第1送気手段から発生用気体の供給を受けて、その発生用気体中に分散する状態の前記粉状体を発生する発生手段と、この発生手段から前記発生用気体とともに送出される前記粉状体を、第2送気手段から供給される希釈用気体と合流させて希釈する希釈手段と、この希釈手段から前記発生用気体及び前記希釈用気体とともに送出される前記粉状体を、前記空気供給風路の通過空気に散布する散布手段とを備える構成にしてあるフィルタリーク検査装置。
IPC (3件)：
G01N 15/08
, B01D 46/42
, G01D 21/00
G01N 15/08 A
, B01D 46/42 A
, G01D 21/00
