特許
J-GLOBAL ID：200903056146742409
フルイディック素子で発生した流体振動を検出するセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130885
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322617
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 流体振動以外の連続的な圧力変動により発生する振動の場合には、流量信号を出力しない流体振動検出センサを得たい。【構成】 あらかじめ、定常時の流量信号の出力の大きさを測定して基準範囲を定め、この範囲内に単相圧電膜からの出力の大きさが入る場合には流量信号を出力し、外の場合にはキャンセルして出力しない。【効果】 外乱で発生する連続的な圧力変動がある場合に、流量信号を出力しないの、誤積算のおそれがない。
請求項（抜粋）：
流体振動検出室内に2枚の圧電膜を張り込み、フルイディック素子で発生した流体振動の一方を2枚の圧電膜の中間に導入し、他方の流体振動を2枚の圧電膜の外側に夫々導入し、2枚の圧電膜から同相で出力される流体信号をキャンセルし、逆相で出力される流体信号を出力する流体振動検出センサにおいて、あらかじめ定常時に出力される流量信号の出力の大きさの範囲を測定してこの測定値に基づき又はある程度の許容範囲を定めて基準範囲をつくり、流量測定時に単相圧電膜から出力される信号の出力の大きさを同時に測定し、この単相圧電膜から出力される信号の出力の大きさが前記基準範囲内にあるときには適正と判定して流量信号を演算回路側に出力し、範囲外にあるときには不適正と判定して流量信号を出力しない判定回路を設けて成るフルイディック素子で発生した流体振動を検出するセンサ。
IPC (3件)：
G01F 1/20
, G01F 1/00
, G01F 15/06
