特許

J-GLOBAL ID：200903056151439102

光導波路モジュール

発明者： 高橋 龍太
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186169
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 光導波路と光素子との光結合が低損失になる光導波路モジュールを提供する。【解決手段】 半導体基板100の上に第1の誘電体層102、導波路コア103及び第2の誘電体層104を順に重ね、この積層中に光素子108を収容するための凹部109を掘り込んだ光導波路モジュールにおいて、上記凹部109の深さの中央位置に上記導波路コア103が位置している。このため角度ずれによる結合損失増加を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板の上に第1の誘電体層、導波路コア及び第2の誘電体層を順に重ね、この積層中に光素子を収容するための凹部を掘り込んだ光導波路モジュールにおいて、上記凹部の深さの中央位置に上記導波路コアが位置していることを特徴とする光導波路モジュール。

IPC (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/12 ,  H01L 31/0232

FI (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/12 N ,  H01L 31/02 D