特許

J-GLOBAL ID：200903056155815907

投影露光装置

発明者： 神谷 三郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016590
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217851
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 半導体素子のリソグラフィ工程で使われる通常のレチクルを投影露光する際、高解像度で大焦点深度が得られるとともに、照度均一性の優れた投影露光装置を得る。【構成】 照明光学系内のフライアイレンズを2段構成にするとともに、照明光学系の光軸から偏心した複数の位置に中心がくるように、2段構成を保ったまま分離し、分離された複数の2段フライアイレンズの各々に照明光束を供給する。さらに光路差発生部材30によって、複数の2段フライアイレンズの各々に入射する光束の相互の光路差を、全て照明光束のコヒーレント長より長くする。

請求項（抜粋）：

光源からの照明光をほぼ均一な強度分布に成形するとともに、該均一な照明光を所定のパターンが形成されたマスクに照射する照明光学系と、前記マスクのパターンの像を感光基板に結像投影する投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記照明光学系の光路中の前記マスクのパターンに対するフーリエ変換面、もしくはその近傍面内に射出側焦点面が配置されるとともに、前記照明光学系の光軸から偏心した複数の位置の各々に中心が配置される複数の第1フライアイレンズと;該複数の第1フライアイレンズの各々の入射端に対するフーリエ変換面、もしくはその近傍面内に射出側焦点面が配置されるとともに、前記第1フライアイレンズの各々と対応して設けられる複数の第2フライアイレンズと;該複数の第2フライアイレンズの各々に、前記光源からの照明光を複数の光束に分割して入射させる光分割器と;前記複数の第1フライアイレンズの各々から射出される各光束の光路長に対して互いに異なる光路差を与える光路差発生部材とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 311 N ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 照明装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-225221   出願人：キヤノン株式会社
• 特公昭56-040308