特許
J-GLOBAL ID：200903056156054187
感光性組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147345
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341525
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、有機溶剤を含まない水性アルカリ溶液によって現像することができ、しかも、現像能力と支持体との密着性に優れた感光性組成物を提供することにある。【構成】 本発明の要旨は、放射線照射により酸を発生する化合物とアルカリ可溶性共重合体を含む感光性組成物において、上記アルカリ可溶性共重合体として、p-イソプロペニルフェノール10〜40重量%、グリシジルメタクリレート50〜80重量%、ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸0〜10重量%からなる共重合体を用いたことを特徴とする感光性組成物にある。
請求項（抜粋）：
放射線照射により酸を発生する化合物とアルカリ可溶性共重合体を含む感光性組成物において、上記アルカリ可溶性共重合体として、p-イソプロペニルフェノール10〜40重量%、グリシジルメタクリレート50〜80重量%、ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸0〜10重量%からなる共重合体を用いたことを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 503
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, H01L 21/027
