特許

J-GLOBAL ID：200903056161228479

軟磁性薄膜、及びそれを用いた磁気ヘッド,磁気記録装置

発明者： 桐野 文良 ,  大友 茂一 ,  森脇 英稔 ,  小礒 良嗣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026476
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235421
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】高飽和磁束密度を維持しつつ耐食性を向上させたFeを含む磁性膜およびそれを用いた磁気記録装置を提供する。【構成】磁性元素としてFe,Ta,Cを含む合金膜を成膜し、熱処理を行うことにより微結晶析出反応を生じさせて軟磁気特性を発現させる場合に、合金中に磁性元素以外の元素を添加することにより析出する微結晶がX線的にα-Feのみとなるように軟磁性薄膜の結晶構造を制御する。【効果】析出してくるTaCの結晶粒径を微細化し、形成されるα-Feの結晶粒径を制御し、磁性膜の軟磁気特性及び耐食性を向上させる。

請求項（抜粋）：

Fe,Ta,Cを含む合金において、成膜した後に加熱処理を行うことにより微結晶析出反応を生じさせて軟磁気特性を発現させる場合に、合金中に磁性元素以外の元素を添加することにより析出する微結晶がX線回折的にα-Feのみとなるように軟磁性薄膜の結晶構造を制御したことを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (6件)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C22C 38/26 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/23