特許
J-GLOBAL ID：200903056172998349
オーバレーマーク
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斎藤 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-358677
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329889
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 正確な露光エネルギーと正確なフォーカスとを得るために対象パターンを直接探知するため、露光エネルギーやフォーカスを測定するのに長時間を要し、ウェーハ内またフィールド内で多数の場所を測定するのに困難が伴う問題点を有する。【解決手段】 露光エネルギーとフォーカスを同時に測定するための内部ボックスと外部ボックスとを含んでおり、露光エネルギーとフォーカスの変化が、X軸とY軸で、前記内部ボックスと前記外部ボックス間の位置偏移に表示され、前記位置偏移が現れるX軸は露光エネルギーを、Y軸はフォーカスをそれぞれ表示する。
請求項（抜粋）：
露光エネルギーとフォーカスを同時に測定するための内部ボックスと外部ボックスとを含んでおり、露光エネルギーとフォーカスの変化が、X軸とY軸で、前記内部ボックスと前記外部ボックス間の位置偏移に表示され、前記位置偏移が現れるX軸は露光エネルギーを、Y軸はフォーカスをそれぞれ表示することを特徴とするオーバレーマーク。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G03F 1/08 P
, H01L 21/30 516 Z
, H01L 21/30 516 C
, H01L 21/30 526 Z
