特許
J-GLOBAL ID：200903056175300660
照明光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122477
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 放電ランプからの光を集光鏡で集光した後、更に光学部材を介して被照明物体を照明するような照明光学装置において、新たに大きな熱源を設けるか、又は不純物ガスの除去機構を特別に設けることなく、その光学部材に付着する硫酸アンモニウムの白色粉末の量を減少する。【構成】 水銀ランプを内側バルブ11及び外側バルブ14よりなる二重構造として、両バルブの間の空間Sに、260〜340nmの波長域の光に対する吸収特性を有するガス体(ルビジウムの金属蒸気やセシウムの金属蒸気等)を封入するか、又は流通させる。二酸化硫黄が260〜340nmの波長域の光を吸収して硫酸アンモニウムの原料である活性化二酸化硫黄になるのを防止する。
請求項（抜粋）：
放電ランプと、該放電ランプからの光を反射及び集光する反射集光部材と、該反射集光部材により集光された光から350nm以上の所定の波長帯の光を選択する波長選択部材とを有し、該波長選択部材で選択された光で被照明物体を照明する装置において、前記放電ランプ、及び前記放電ランプから前記波長選択部材までの光路中に配された光学部材中の何れかの光学部材を、前記放電ランプからの光の光路中に位置する中空部を有する光透過性部材から構成し、前記中空部に260〜340nmの波長域の光に対して吸収性を有する流体を封入するか又は流通させるようにしたことを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 527
, H01L 21/30 515 C
, H01L 21/30 515 D
