特許

J-GLOBAL ID：200903056175832867

光電変換装置及びその作製方法

発明者： 大泉 充弘
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257929
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112513
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 素子形状を変えることにより開口率を向上させ、光電流を増加させることが可能な光電変換装置及びその作製方法を提供する。【構成】 フォトダイオード1と、このフォトダイオード1に光を導くための採光窓4と、フォトダイオード1に入射する光を遮る遮光層3とを備え、採光窓4を通じて外部から入射してくる光をフォトダイオード1に検出することにより光電変換を行う光電変換装置において、採光窓4に面した遮光層3の端面3aの少なくとも一部が直線状のテーパー形状を有するように形成した。

請求項（抜粋）：

フォトダイオードと、このフォトダイオードに光を導くための採光窓と、前記フォトダイオードに入射する光を遮る遮光層とを備え、前記採光窓を通じて外部から入射してくる光を前記フォトダイオードで検出することにより光電変換を行う光電変換装置において、前記採光窓に面した前記遮光層の端面の少なくとも一部が、直線状のテーパー形状を有するように形成したことを特徴とする光電変換装置。

IPC (4件)：

H01L 31/02 ,  H01L 23/06 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (3件)：

H01L 31/02 B ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 A