特許
J-GLOBAL ID：200903056181838133
微小開口評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298709
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132904
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 光の波長よりも短い径の光通過開口である微小開口を正確かつ簡便に評価する。【解決手段】 光源12から発せられた評価用の光11を、レンズ13、14により、光の波長よりも短い径の光通過開口を一端に有する微小開口プローブ10の他端から入射させる。このとき、プローブ10の一端から出射した光(伝搬光)11を拡散板16により受光して該光11の光分布パターンを可視化し、その可視化された光分布パターンを撮像手段17によって撮像する。そしてこの撮像された強度分布パターンを表示手段19において表示する。
請求項（抜粋）：
光の波長よりも短い径の光通過開口を評価する微小開口評価装置であって、評価用の光を発する光源と、この光を前記光通過開口に入射させる入射光学系と、前記光通過開口から出射した前記光を受け、その光の強度分布パターンを可視化する拡散板と、該拡散板に可視化された前記強度分布パターンを撮像する撮像手段と、撮像された前記強度分布パターンを表示する表示手段とからなることを特徴とする微小開口評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 Z
, G01N 37/00 E
