ITO透明導電膜付き基板およびITO透明導電膜の成膜方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018200
公開番号（公開出願番号）：特開2000-222944
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタ上に成膜したITO透明導電膜は、膜の圧縮応力が大きく、ひび割れや膜剥離が発生しやすく、液晶表示素子の信頼性向上に課題があった。【解決手段】多結晶のITO透明導電膜とし、その多結晶を膜表面上から見たときの単結晶の結晶粒界が膜厚方向に透明基板まで達する断面多角形の柱状の単結晶の集合体とする。アーク放電プラズマ蒸着法により、酸化錫含有酸化インジウム蒸着材料から前記基板までの距離Lと成膜中の前記雰囲気ガスの全圧pについて、p(Pa)≧-0.0017L(mm)+1.0かつp(Pa)≧0.4としてカラーフィルタ上に成膜する。低比抵抗で600MPa以下の低応力の膜が得られる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に錫を含有する酸化インジウムの単結晶の集合体からなる多結晶膜が成膜されたITO透明導電膜付き基板において、前記多結晶膜が、膜表面上から見たときの前記単結晶の結晶粒界が膜厚方向に前記透明基板まで達する断面多角形の柱状の単結晶の集合体からなることを特徴とするITO透明導電膜付き基板。

IPC (6件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C23C 14/24 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343 , H01B 13/00 503

FI (6件)：

H01B 5/14 A , C23C 14/08 D , C23C 14/24 F , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343 , H01B 13/00 503 B

Fターム (29件)：

2H090HA04 , 2H090HB13X , 2H090HC18 , 2H090JA08 , 2H090JB02 , 2H090JC09 , 2H090LA01 , 2H090LA15 , 2H092HA04 , 2H092MA08 , 2H092MA35 , 2H092NA15 , 2H092NA18 , 2H092NA28 , 2H092PA08 , 4K029AA09 , 4K029BA50 , 4K029BB08 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA04 , 4K029DD06 , 4K029EA01 , 4K029EA03 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC05 , 5G323BA02 , 5G323BB04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-029216
特開昭63-089436

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